ตัวควบคุมพลังงานซีรีส์ TPM5
-
ตัวควบคุมพลังงานซีรีส์ TPM5
ตัวควบคุมพลังงานซีรีส์ TPM5 นำแนวคิดการออกแบบโมดูลมาใช้และรวมวงจรภายในได้สูงสุด 6 วงจร ผลิตภัณฑ์ส่วนใหญ่ใช้ในเตาเผาแบบแพร่กระจาย PECVD เตาเผาแบบเอพิแทกซี เป็นต้น
ตัวควบคุมพลังงานซีรีส์ TPM5 นำแนวคิดการออกแบบโมดูลมาใช้และรวมวงจรภายในได้สูงสุด 6 วงจร ผลิตภัณฑ์ส่วนใหญ่ใช้ในเตาเผาแบบแพร่กระจาย PECVD เตาเผาแบบเอพิแทกซี เป็นต้น