แหล่งจ่ายไฟ RF
-
พาวเวอร์ซัพพลาย RF ซีรี่ส์ RLS
แหล่งจ่ายไฟ RF ซีรีส์ RLS ใช้เครื่องขยายกำลังที่เสถียรและเชื่อถือได้ในปัจจุบันและระบบควบคุม DC หลักของบริษัท เพื่อให้ผลิตภัณฑ์มีประสิทธิภาพที่เสถียรมากและความน่าเชื่อถือของผลิตภัณฑ์สูงใช้อินเทอร์เฟซการแสดงผลภาษาจีนและอังกฤษใช้งานง่ายส่วนใหญ่ใช้ในอุตสาหกรรมเซลล์แสงอาทิตย์, อุตสาหกรรมจอแบน, อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์, อุตสาหกรรมเคมี, ห้องปฏิบัติการ, การวิจัยทางวิทยาศาสตร์, การผลิต ฯลฯ
-
เครื่องจับคู่ซีรีส์ RMA
สามารถปรับให้เข้ากับแหล่งจ่ายไฟ RF ซีรีส์ RLS และมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในการแกะสลักพลาสม่า การเคลือบ การทำความสะอาดพลาสมา การลอกกาวพลาสมา และกระบวนการอื่น ๆเมื่อใช้เพียงอย่างเดียว สามารถใช้ร่วมกับแหล่งจ่ายไฟ RF ของผู้ผลิตรายอื่นได้
-
แหล่งจ่ายไฟ RF ซีรี่ส์ RHH
แหล่งจ่ายไฟ RF ซีรีส์ RHH อาศัยเทคโนโลยีการสร้าง RF ที่ครบถ้วนเพื่อให้ลูกค้าได้รับแหล่งจ่ายไฟ RF ที่มีกำลังมากขึ้น ความแม่นยำที่สูงขึ้น และการตอบสนองที่รวดเร็วสามารถตั้งค่าเฟส ควบคุมพัลส์ ปรับจูนแบบดิจิตอล และฟังก์ชั่นอื่นๆ ได้สาขาที่เกี่ยวข้อง: อุตสาหกรรมไฟฟ้าโซลาร์เซลล์, อุตสาหกรรมจอแบน, อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์, อุตสาหกรรมเคมี, ห้องปฏิบัติการ, การวิจัยทางวิทยาศาสตร์, การผลิต ฯลฯ
กระบวนการที่ใช้งานได้: การสะสมไอสารเคมีที่เพิ่มขึ้นในพลาสมา (PECVD), การกัดด้วยพลาสมา, การทำความสะอาดพลาสมา, แหล่งกำเนิดไอออนความถี่วิทยุ, การแพร่กระจายของพลาสมา, การสปัตเตอร์โพลีเมอไรเซชันของพลาสมา, การสปัตเตอร์ปฏิกิริยา ฯลฯ