แหล่งจ่ายไฟสปัตเตอร์ความถี่ปานกลาง MSB ซีรี่ส์

คำอธิบายสั้น:

แหล่งจ่ายไฟ RF ซีรีส์ RHH อาศัยเทคโนโลยีการสร้าง RF ที่ครบถ้วนเพื่อให้ลูกค้าได้รับแหล่งจ่ายไฟ RF ที่มีกำลังมากขึ้น ความแม่นยำที่สูงขึ้น และการตอบสนองที่รวดเร็วสามารถตั้งค่าเฟส ควบคุมพัลส์ ปรับจูนแบบดิจิตอล และฟังก์ชั่นอื่นๆ ได้สาขาที่เกี่ยวข้อง: อุตสาหกรรมไฟฟ้าโซลาร์เซลล์, อุตสาหกรรมจอแบน, อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์, อุตสาหกรรมเคมี, ห้องปฏิบัติการ, การวิจัยทางวิทยาศาสตร์, การผลิต ฯลฯ

กระบวนการที่ใช้งานได้: การสะสมไอสารเคมีที่เพิ่มขึ้นในพลาสมา (PECVD), การกัดด้วยพลาสมา, การทำความสะอาดพลาสมา, แหล่งกำเนิดไอออนความถี่วิทยุ, การแพร่กระจายของพลาสมา, การสปัตเตอร์โพลีเมอไรเซชันของพลาสมา, การสปัตเตอร์ปฏิกิริยา ฯลฯ


รายละเอียดผลิตภัณฑ์

แท็กสินค้า

ส่งอีเมลถึงเรา

คุณสมบัติ

● รูปแบบอิฐครึ่งก้อนและแบบติดตั้งบนชั้นวาง

● ใช้การควบคุมแบบดิจิทัลเต็มรูปแบบ พร้อมเมนูการทำงานที่สะดวกและหลากหลาย

● ฟังก์ชั่นการปรับความถี่ พัลส์ และการซิงโครไนซ์พัลส์

● ด้วยฟังก์ชันการซิงโครไนซ์เฟส CEX

● ฟังก์ชั่นการป้องกันที่สมบูรณ์แบบ

รายละเอียดผลิตภัณฑ์

ป้อนข้อมูล แรงดันไฟฟ้าขาเข้า: AC220V ± 10% 3ΦAC380V ± 5% (ข้อกำหนดพิเศษสามารถปรับแต่งได้)
ความถี่อินพุต: 47 ~ 63Hz
เอาท์พุต ความถี่เอาท์พุท: 13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
ช่วงการปรับค่า: ± 5%
กำลังขับ: 1.5~5kW
ช่วงการควบคุมของกำลังขับ: 1 ~ 100%
ความต้านทานขาออก: 50Ω+j0
อินเตอร์เฟซเอาท์พุท: ประเภท N
โหมดเอาต์พุต: ต่อเนื่อง, พัลส์
ความถี่พัลส์: 100Hz ~ 100kHz
รอบการทำงาน: 5 ~ 95%
ดัชนีประสิทธิภาพ ตัวประกอบกำลัง: 0.98
ความแม่นยำเสถียรภาพความถี่: ± 0.005%
ประสิทธิภาพ: 75% (ที่เอาต์พุตที่ได้รับการจัดอันดับ)
ฮาร์มอนิก: <-45dBc
เร่ร่อน: <-50dBc
อินเทอร์เฟซการควบคุมภายนอก: ปริมาณอะนาล็อก การสื่อสาร และการซิงโครไนซ์
โหมดการสื่อสาร: อินเทอร์เฟซการสื่อสาร RS485 มาตรฐาน;ตัวเลือก Ether CAT, อีเธอร์เน็ตอุตสาหกรรม ฯลฯ
หมายเหตุ: ผลิตภัณฑ์ยังคงพัฒนาอย่างต่อเนื่องและประสิทธิภาพยังคงปรับปรุงอย่างต่อเนื่องคำอธิบายพารามิเตอร์นี้ใช้สำหรับการอ้างอิงเท่านั้น


  • เขียนข้อความของคุณที่นี่แล้วส่งมาให้เรา

    หมวดหมู่สินค้า

    ฝากข้อความของคุณ