แหล่งจ่ายไฟแบบสปัตเตอร์ความถี่ปานกลางซีรีส์ MSB
-
แหล่งจ่ายไฟแบบสปัตเตอร์ความถี่ปานกลางซีรีส์ MSB
แหล่งจ่ายไฟ RF ซีรีส์ RHH อาศัยเทคโนโลยีการสร้าง RF ที่ครบถ้วนสมบูรณ์ เพื่อมอบแหล่งจ่ายไฟ RF ให้กับลูกค้าด้วยพลังงานที่มากขึ้น ความแม่นยำสูงขึ้น และการตอบสนองที่รวดเร็ว สามารถตั้งค่าเฟส ควบคุมพัลส์ ปรับแต่งแบบดิจิทัล และฟังก์ชันอื่นๆ ได้ สาขาที่เกี่ยวข้อง: อุตสาหกรรมโซลาร์เซลล์ อุตสาหกรรมจอแบน อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ อุตสาหกรรมเคมี ห้องปฏิบัติการ การวิจัยทางวิทยาศาสตร์ การผลิต เป็นต้น
กระบวนการที่ใช้ได้: การสะสมไอเคมีที่ปรับปรุงด้วยพลาสมา (PECVD), การกัดพลาสมา, การทำความสะอาดพลาสมา, แหล่งไอออนความถี่วิทยุ, การแพร่กระจายพลาสมา, การสปัตเตอร์โพลีเมอไรเซชันของพลาสมา, การสปัตเตอร์ปฏิกิริยา ฯลฯ