พลังงานไมโครเวฟ
-
แหล่งจ่ายไฟไมโครเวฟ
แหล่งจ่ายไฟสลับไมโครเวฟเป็นแหล่งจ่ายไฟไมโครเวฟรูปแบบใหม่ที่ใช้เทคโนโลยีอินเวอร์เตอร์ความถี่สูง IGBT โดยผสานรวมแหล่งจ่ายไฟแรงดันสูงแบบแอโนด แหล่งจ่ายไฟแบบเส้นใย และแหล่งจ่ายไฟสนามแม่เหล็ก (ยกเว้นแหล่งจ่ายไฟไมโครเวฟขนาด 3kW) คลื่นแมกนีตรอนให้สภาพการทำงาน ผลิตภัณฑ์นี้ใช้ใน MPCVD, การแกะสลักพลาสมาด้วยไมโครเวฟ, การลอกกาวพลาสมาด้วยไมโครเวฟ และสาขาอื่น ๆ