การถอดถอน
รับข้อมูลเชิงลึกและเร่งกระบวนการพัฒนา
Advanced Energy นำเสนอโซลูชันการจ่ายไฟและการควบคุมสำหรับการใช้งานการสะสมฟิล์มบางที่สำคัญและรูปทรงของอุปกรณ์ เพื่อแก้ปัญหาการประมวลผลเวเฟอร์ โซลูชันการแปลงพลังงานที่แม่นยำของเราช่วยให้คุณปรับความแม่นยำ ความแม่นยำ ความเร็ว และความสามารถในการทำซ้ำของกระบวนการให้เหมาะสมที่สุด
เราให้บริการความถี่ RF ที่หลากหลาย ระบบไฟ DC ระดับเอาต์พุตไฟฟ้าที่ปรับแต่งได้ เทคโนโลยีการจับคู่ และโซลูชันการตรวจสอบอุณหภูมิด้วยไฟเบอร์ออปติกที่ช่วยให้คุณควบคุมพลาสมาของกระบวนการได้ดีขึ้นอย่างแท้จริง นอกจากนี้ เรายังผสานรวม Fast DAQ™ และชุดการรวบรวมและการเข้าถึงข้อมูลของเราเพื่อให้ข้อมูลเชิงลึกเกี่ยวกับกระบวนการและเร่งกระบวนการพัฒนา
เรียนรู้เพิ่มเติมเกี่ยวกับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ของเราเพื่อค้นหาโซลูชันที่เหมาะกับความต้องการของคุณ
ความท้าทายของคุณ
จากฟิล์มที่ใช้สร้างรูปแบบขนาดวงจรรวมไปจนถึงฟิล์มนำไฟฟ้าและฉนวน (โครงสร้างไฟฟ้า) ไปจนถึงฟิล์มโลหะ (การเชื่อมต่อ) กระบวนการการสะสมของคุณต้องการการควบคุมในระดับอะตอม ไม่ใช่เฉพาะสำหรับแต่ละฟีเจอร์เท่านั้น แต่รวมไปถึงเวเฟอร์ทั้งหมดด้วย
นอกเหนือจากโครงสร้างแล้ว ฟิล์มที่คุณสะสมจะต้องมีคุณภาพสูง โดยต้องมีโครงสร้างเกรนที่ต้องการ ความสม่ำเสมอ และความหนาตามแบบ และไม่มีช่องว่าง และนั่นยังต้องให้แรงทางกล (แรงอัดและแรงดึง) และคุณสมบัติทางไฟฟ้าตามที่ต้องการอีกด้วย
ความซับซ้อนยังคงเพิ่มขึ้นอย่างต่อเนื่อง เพื่อแก้ไขข้อจำกัดของลิโธกราฟี (โหนดย่อย 1X นาโนเมตร) เทคนิคการสร้างรูปแบบคู่และสี่แบบที่เรียงตัวกันเองต้องใช้กระบวนการสะสมของคุณเพื่อผลิตและทำซ้ำรูปแบบบนเวเฟอร์ทุกอัน
โซลูชั่นของเรา
เมื่อคุณใช้งานแอพพลิเคชั่นการสะสมและรูปทรงอุปกรณ์ที่สำคัญที่สุด คุณต้องมีผู้นำตลาดที่เชื่อถือได้
เทคโนโลยีการส่งพลังงาน RF และการจับคู่ความเร็วสูงของ Advanced Energy ช่วยให้คุณปรับแต่งและเพิ่มประสิทธิภาพความแม่นยำ ความแม่นยำ ความเร็ว และความสามารถในการทำซ้ำของกระบวนการที่จำเป็นสำหรับกระบวนการการสะสม PECVD และ PEALD ขั้นสูงทั้งหมด
ใช้เทคโนโลยีเครื่องกำเนิดไฟฟ้า DC ของเราเพื่อปรับแต่งการตอบสนองของส่วนโค้งที่กำหนดเอง ความแม่นยำของพลังงาน ความเร็ว และความสามารถในการทำซ้ำของกระบวนการ PVD (การสปัตเตอร์) และการสะสม ECD ที่ต้องการ
ประโยชน์
● เสถียรภาพของพลาสมาที่เพิ่มขึ้นและการทำซ้ำกระบวนการช่วยเพิ่มผลผลิต
● การส่ง RF และ DC ที่แม่นยำพร้อมการควบคุมแบบดิจิทัลเต็มรูปแบบช่วยเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการ
● ตอบสนองอย่างรวดเร็วต่อการเปลี่ยนแปลงพลาสมาและการจัดการอาร์ค
● การกระตุ้นแบบหลายระดับพร้อมการปรับความถี่แบบปรับได้ช่วยปรับปรุงการเลือกอัตราการกัด
● มีการสนับสนุนทั่วโลกเพื่อให้มั่นใจถึงเวลาทำงานสูงสุดและประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์