การสะสม
รับข้อมูลเชิงลึกและเร่งกระบวนการพัฒนา
Advanced Energy นำเสนอโซลูชันการจ่ายไฟและการควบคุมสำหรับการใช้งานการสะสมฟิล์มบางที่สำคัญและรูปทรงของอุปกรณ์เพื่อแก้ปัญหาความท้าทายในการประมวลผลเวเฟอร์ โซลูชันการแปลงพลังงานที่แม่นยำของเราช่วยให้คุณสามารถปรับความแม่นยำของพลังงาน ความแม่นยำ ความเร็ว และความสามารถในการทำซ้ำของกระบวนการได้อย่างเหมาะสม
เรานำเสนอความถี่ RF ที่หลากหลาย ระบบไฟฟ้ากระแสตรง ระดับเอาท์พุตพลังงานที่ปรับแต่งได้ เทคโนโลยีที่ตรงกัน และโซลูชันการตรวจสอบอุณหภูมิใยแก้วนำแสงที่ช่วยให้คุณควบคุมพลาสมาของกระบวนการได้ดีขึ้นอย่างแท้จริงนอกจากนี้เรายังผสานรวม Fast DAQ™ และชุดการรับข้อมูลและการเข้าถึงของเราเพื่อให้ข้อมูลเชิงลึกเกี่ยวกับกระบวนการและเร่งกระบวนการพัฒนา
เรียนรู้เพิ่มเติมเกี่ยวกับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ของเราเพื่อค้นหาโซลูชันที่เหมาะกับความต้องการของคุณ
ความท้าทายของคุณ
ตั้งแต่ฟิล์มที่ใช้ในการสร้างขนาดวงจรรวมไปจนถึงฟิล์มที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าและฉนวน (โครงสร้างทางไฟฟ้า) ไปจนถึงฟิล์มโลหะ (การเชื่อมต่อถึงกัน) กระบวนการสะสมของคุณต้องการการควบคุมระดับอะตอม ไม่เพียงแต่สำหรับคุณสมบัติแต่ละอย่างเท่านั้น แต่ยังรวมถึงทั่วทั้งแผ่นเวเฟอร์ด้วย
นอกเหนือจากโครงสร้างแล้ว ฟิล์มที่ฝากของคุณต้องมีคุณภาพสูงพวกเขาจำเป็นต้องมีโครงสร้างเกรนที่ต้องการ ความสม่ำเสมอ และความหนาที่สม่ำเสมอ และปราศจากช่องว่าง — และนั่นนอกเหนือไปจากการให้ความเค้นเชิงกลที่จำเป็น (แรงอัดและแรงดึง) และคุณสมบัติทางไฟฟ้า
ความซับซ้อนยังคงเพิ่มขึ้นเท่านั้นในการจัดการกับข้อจำกัดการพิมพ์หิน (โหนดย่อย 1X นาโนเมตร) เทคนิคการจัดรูปแบบสองเท่าและสี่เท่าแบบปรับแนวได้เองต้องใช้กระบวนการสะสมของคุณเพื่อสร้างและทำซ้ำรูปแบบบนเวเฟอร์ทุกอัน
โซลูชั่นของเรา
เมื่อคุณปรับใช้แอปพลิเคชันการสะสมและรูปทรงของอุปกรณ์ที่สำคัญที่สุด คุณต้องมีผู้นำตลาดที่เชื่อถือได้
การส่งพลังงาน RF และเทคโนโลยีจับคู่ความเร็วสูงของ Advanced Energy ช่วยให้คุณสามารถปรับแต่งและเพิ่มประสิทธิภาพความแม่นยำ ความแม่นยำ ความเร็ว และความสามารถในการทำซ้ำของกระบวนการที่จำเป็นสำหรับกระบวนการสะสม PECVD และ PEALD ขั้นสูงทั้งหมด
ใช้เทคโนโลยีเครื่องกำเนิดไฟฟ้ากระแสตรงของเราเพื่อปรับแต่งการตอบสนองส่วนโค้งที่กำหนดค่าได้ ความแม่นยำของกำลัง ความเร็ว และความสามารถในการทำซ้ำของกระบวนการที่ต้องการ PVD (สปัตเตอร์ริ่ง) และกระบวนการสะสม ECD
ประโยชน์
● ความเสถียรของพลาสมาที่เพิ่มขึ้นและความสามารถในการทำซ้ำของกระบวนการช่วยเพิ่มผลผลิต
● การส่ง RF และ DC ที่แม่นยำพร้อมการควบคุมแบบดิจิทัลเต็มรูปแบบช่วยเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการ
● ตอบสนองอย่างรวดเร็วต่อการเปลี่ยนแปลงพลาสมาและการจัดการส่วนโค้ง
● การเต้นเป็นจังหวะหลายระดับพร้อมการปรับความถี่แบบปรับได้ช่วยปรับปรุงการเลือกอัตราการแกะสลัก
● มีการสนับสนุนทั่วโลกเพื่อให้มั่นใจถึงความพร้อมใช้งานและประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์สูงสุด